Augstas{0}}precizitātes sensoru pamatprincips ir pārveidot izmērīto daudzumu precīzā, stabilā un uzticamā elektriskā signālā, izmantojot precīzu dizainu, progresīvus ražošanas procesus, sarežģītus signālu apstrādes algoritmus un stingras kļūdu kompensācijas metodes. Augstas precizitātes sasniegšanas galvenie aspekti ir: sensoru pamatprincipu optimizācija, augstas veiktspējas materiāli un precīzas struktūras, uzlaboti ražošanas procesi (piemēram, MEMS), zems-troksnis, augstas-precizitātes elektroniskās shēmas, temperatūras kompensācija, nelinearitāte un linearizācija, kalibrēšana un standartizācija, digitālo signālu apstrāde un traucējumu novēršana. Galvenā ideja ir dziļi izprast un kvantificēt visus iespējamos kļūdu avotus un aktīvi novērst vai kompensēt šīs kļūdas, izmantojot aparatūras un programmatūras kopīgu dizainu.
Precīzas ražošanas un pārbaužu jomā augstas -precizitātes sensori tiek izmantoti augstas-precizitātes nobīdes, izmēru un virsmas topogrāfijas mērījumiem, piemēram, GT2-P12KL pildspalvas-tipa kontakta sensors mikronu līmeņa noteikšanai.
Procesa kontroles un uzraudzības jomā augstas precizitātes sensori tiek izmantoti skarbās rūpniecības vidēs, piemēram, ķīmiskajā un enerģētikas rūpniecībā, lai ļoti uzticami uzraudzītu galvenos procesa parametrus, piemēram, spiedienu, temperatūru un plūsmas ātrumu, piemēram, OMEGA PX409 sērijas augstas precizitātes spiediena sensorus.

